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2024-08-27訪(fǎng)問(wèn)量
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詳細介紹
| 品牌 | ACE/美國 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 石油,地礦,能源,電子,交通 |
RTS-4A型全自動(dòng)掃描四探針測試系統
關(guān)鍵詞：全自動(dòng)四探針，2D,3D，多點(diǎn)掃描, 電阻率, 方塊電阻
可對樣品進(jìn)行 49 點(diǎn)、81 點(diǎn)、中心 1 點(diǎn)、中心 10 點(diǎn)、中心半徑 5 點(diǎn)、中心邊緣 5 點(diǎn)、中心半徑邊緣 9 點(diǎn)、直徑掃描等測試；統計分析測試數據生成 2D 和 3D 的 map 圖； 屏蔽測試，消除光對樣品測試的影響，保證測量的準確性；真空吸附防止全自動(dòng)測試過(guò)程中樣品移動(dòng)對測試的影響；
一體化嵌入式設計，觸控電腦屏幕操作，手指點(diǎn)點(diǎn)就可以完成操作
PRTS-4A全自動(dòng)掃描四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動(dòng)測量設備。該設備按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專(zhuān)用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專(zhuān)用設備。通過(guò)全自動(dòng)測試系統，對晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測量，繪制出等值線(xiàn)圖后，從而直接觀(guān)察到整個(gè)晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。
PRTS-4A全自動(dòng)掃描四探針測試系統通過(guò)采用四探針雙位組合測量技術(shù)，將范德堡測量方法推廣應用到直線(xiàn)四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進(jìn)行兩次電測量，其最后計算結果能自動(dòng)消除由樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素所引起的，對測量結果的不利影響。因而在測試過(guò)程中，在滿(mǎn)足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動(dòng)態(tài)地對以上不利因素的自動(dòng)修正，顯著(zhù)降低了其對測試結果的影響，從而提高了測量結果的準確度。
PRTS-4A全自動(dòng)掃描四探針測試系統擁有友好操作測試界面，通過(guò)此測試程序輔助用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項測試操作，把采集到的測試數據進(jìn)行數學(xué)分析，然后把測試數據以Excel表格，2D、3D等數值圖直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。方便用戶(hù)對數據進(jìn)行各種數據分析，用戶(hù)可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，
產(chǎn)品應用
● 半導體及太陽(yáng)能電池(單晶硅、多晶硅、鈣鈦礦)
● 液晶面板(ITO/AZO)
● 功能材料(熱電材料、碳納米管、石墨烯、銀納米線(xiàn)、導電纖維布)
● 半導體工藝(金屬層/離子注入/擴散層)、非晶合金
主要技術(shù)指標 ：
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 ?.cm； 方塊電阻：10-4～106 ?/□； |
可測晶片尺寸 | 2 英寸～15 英寸；（太陽(yáng)能電池片≤210mm*210mm） |
恒流源 | 電流量程分為 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔。 |
采樣電壓范圍 | 量程：000.00～199.99mV；（低阻擴展時(shí)，量程：00.000～19.999mV） 分辨力：10μV；（低阻擴展時(shí)，分辨力：1μV）輸入阻抗：＞1000MΩ；精度：±0.1%； |
四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000M?； 機械游移率：≤0.3％； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
模擬電阻測量相對 | 0.01?、0.1?、1?、10?、100?、1000?、10000?≤0.2％ |
整機測量最大相對 | （用硅標樣片:0.003-500Ω.cm 測試）≤±3%（23℃） |
重復性 | ≤±0.5% |
最小去邊距離 | 3mm |
自動(dòng)測試選點(diǎn)方式 | 49 點(diǎn)、81 點(diǎn)、中心 1 點(diǎn)、中心 10 點(diǎn)、中心半徑 5 點(diǎn)、中心邊緣 5 點(diǎn)、中心半徑邊緣 9 點(diǎn)、直徑掃描。 |
測試數據處理 | 以Excel格式文件表格記錄測試數據，并生成2D、3D的 map 圖。用戶(hù)可對采集的數據在 Excel 中進(jìn)行進(jìn)一步的各種數據統計分析。 |
屏蔽和吸附測試 | 對樣品進(jìn)行屏蔽和真空吸附測試，消除光和全自動(dòng)測試過(guò)程中樣品移動(dòng)對樣品測試的影響，保證測量的準確性。 |
外形尺寸 | 550mm×455mm×400mm（深×寬×高） |
標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65％；無(wú)高頻干擾； |
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