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型號:
JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設備

描述:JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設備是一款能夠對晶圓分布上的小微陶瓷進(jìn)行極化,是目前研究晶圓及半導體器件陶瓷先進(jìn)材料的重要設備。

技術(shù)特點(diǎn):

1、全封閉安全結構,超高漏流直接自動(dòng)斷電

2、夾具設計方便安裝樣品

3、控溫升溫穩定

  • 廠(chǎng)商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間

    2024-08-27
  • 訪(fǎng)問(wèn)量

    323
詳細介紹
品牌ACE/美國產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域能源,電子,冶金,航天,電氣

JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設備

 關(guān)鍵詞: 晶圓,高壓陶瓷,晶圓陶瓷

JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設備 

JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設備

 

晶圓上布置的壓電陶瓷片

半導體零部件是指在材料、結構、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩定性等性能方面達到半導體設備及技術(shù)要求的零部件,如O型密封圈(O-Ring)、傳送模塊(EFEM)、射頻電源(RFGen)、靜電吸盤(pán)(ESC)、硅(Si)環(huán)等結構件、真空泵(Pump)、氣體流量計(MFC)、精密軸承、氣體噴淋頭(ShowerHead)等

JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設備是一款能夠對晶圓分布上的小微陶瓷進(jìn)行極化,是目前研究晶圓及半導體器件陶瓷先進(jìn)材料的重要設備。

技術(shù)特點(diǎn):

1、全封閉安全結構,超高漏流直接自動(dòng)斷電

2、夾具設計方便安裝樣品

3、控溫升溫穩定

4、極化可以配合ZJ-3型精密D33測試儀進(jìn)行測試

二、主要技術(shù)條件:

1、極化電壓: (0~10)Kv

2、 總電流:  DC:  20mA

4、測試時(shí)間:1~99min   ±5%  (連續可調)

5、測試溫度:常溫~180℃  ±(5%+2個(gè)字)(連續可調)

6、兩電極尺寸:210′320 mm

7、外型尺寸:體積:1450(h)′960(w)′700(d) mm

8、工作條件:環(huán)境溫度0~40°C。

9、相對濕度:不大于75%。

10、電源:AC: (220± ±10%)V    (50±5%) Hz

11、配套設備裝置:能夠配合ZJ-3和ZJ-6壓電測試儀進(jìn)行測量

12、配套設備裝置:可以配置10MM,20MM,30MM,40MM壓片夾具


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