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2017-11-22
+品牌 | ACE/美國 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
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應用領(lǐng)域 | 能源,電子,冶金,航天,電氣 |
JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設備
關(guān)鍵詞: 晶圓,高壓陶瓷,晶圓陶瓷
晶圓上布置的壓電陶瓷片
半導體零部件是指在材料、結構、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩定性等性能方面達到半導體設備及技術(shù)要求的零部件,如O型密封圈(O-Ring)、傳送模塊(EFEM)、射頻電源(RFGen)、靜電吸盤(pán)(ESC)、硅(Si)環(huán)等結構件、真空泵(Pump)、氣體流量計(MFC)、精密軸承、氣體噴淋頭(ShowerHead)等
JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設備是一款能夠對晶圓分布上的小微陶瓷進(jìn)行極化,是目前研究晶圓及半導體器件陶瓷先進(jìn)材料的重要設備。
技術(shù)特點(diǎn):
1、全封閉安全結構,超高漏流直接自動(dòng)斷電
2、夾具設計方便安裝樣品
3、控溫升溫穩定
4、極化可以配合ZJ-3型精密D33測試儀進(jìn)行測試
二、主要技術(shù)條件:
1、極化電壓: (0~10)Kv
2、 總電流: DC: 20mA
4、測試時(shí)間:1~99min ±5% (連續可調)
5、測試溫度:常溫~180℃ ±(5%+2個(gè)字)(連續可調)
6、兩電極尺寸:210′320 mm
7、外型尺寸:體積:1450(h)′960(w)′700(d) mm
8、工作條件:環(huán)境溫度0~40°C。
9、相對濕度:不大于75%。
10、電源:AC: (220± ±10%)V (50±5%) Hz
11、配套設備裝置:能夠配合ZJ-3和ZJ-6壓電測試儀進(jìn)行測量
12、配套設備裝置:可以配置10MM,20MM,30MM,40MM壓片夾具