HTRS-1000型高溫半導體材料電阻率測試儀

       HTRS-1000型高溫半導體材料電阻率測試儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試，該系統采用四線(xiàn)電阻法測量原理進(jìn)行設計開(kāi)發(fā)，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時(shí)間變化的曲線(xiàn)。目前主要針對圓片、方塊、長(cháng)條等測試樣品進(jìn)行測試，可以廣泛用于半導體材料硅（si）、鍺（ge）,化合物半導體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb），三元化合物半導體GaAsAl、GaAsP，固溶體半導體，如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

一、產(chǎn)品特點(diǎn) 

1、設備集成度高，一體化設計，精密測量。

2、1000度的高溫爐膛，耐高溫、抗氧化的測試夾具，測量精準無(wú)誤

3、鉑銥合金材料測試探頭，抗氧化，經(jīng)久耐用。

4、控溫精度達到±0.5℃，溫度、時(shí)間曲線(xiàn)直觀(guān)

5、常溫、高溫、真空、流動(dòng)氣氛等多種試驗環(huán)境

6、各種樣品均可測試：?jiǎn)螛悠穳K體測量夾具，針對圓片、方塊、長(cháng)條等樣品

7、自動(dòng)保壓，防止擊穿

二、主要技術(shù)參數：
溫度范圍：RT-1000℃
升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)
控溫精度：±0.1℃
電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環(huán)境：惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛
測量方法：四線(xiàn)電阻法，探針?lè )?br />測試通道：?jiǎn)瓮ǖ阑蚴请p通道
樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm
電極材料：鉑銥合金電極（耐高溫，抗氧化）
絕緣材料：99氧化鋁陶瓷
數據存儲格式：自動(dòng)分析數據，可以分類(lèi)保存，樣品和測量方案結合在一起，生成系統所需的實(shí)驗方案，輸出TXT、XLS、BMP等格式文件

數據傳輸：USB
符合標準：ASTM
供電：220V±10%，50Hz
工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃；

工作濕度：+40 ℃ 時(shí)，相對濕度高達 95%（無(wú)冷凝）
設備尺寸： L360mm*W370mm*H510mm
重量：22kg